Объектив Zeiss Oberkochen S-Planar 25 мм f/1,6

Объектив, выпущенный заводом Zeiss Oberkochen, — S-Planar 25 мм f/1,6 4050A°, был создан чтобы использоваться наспециальном оборудованиидля микролитографии высокого разрешения, котораяпозволила на кремниевой пластине создавать маски микрочипов.

S-Planar 25mm f/1,6 - несмотря на огромную закупочную цену - был собран в простом и голом корпусе из анодированного алюминия, в нем нет никаких фокусировочных устройств (делегированных своего рода микроскопу, встроенному в аппарат, с критической точностью менее 1 микрона) и нет кольца управления диафрагмой, поскольку эта оптика, чтобы получить максимальную разрешающую способность, должна избегать дифракции и работать при максимально возможной диафрагме, в данном случае фиксированной f/1,6.

S-Planar 25 мм f / 1.6 выпускался с 1974 по 1980 год, поэтому он не принадлежит к этому поколению экстремальных объективов, собранных из более чем 30 кварцевых и флюоритовых элементов и которые стоят сотни тысяч долларов каждый; однако, он очень интересен, потому что в этом спринте к теоретическому экстремальному разрешению представляет собой один из первых случаев, в котором был отказ от видимого света для использования ультрафиолета; в частности, этот объектив был представлен в трех различных версиях, характеризующихся внутренними производственными кодами 10 77 37, 10 77 38 и 10 77 39: первая была оптимизирована для длины волны 4800A° (линия F', синяя линия кадмия), вторая - до 4360A° (линия g, синяя линия ртути), а третья, самая экстремальная и идентичная показанной здесь, работала на 4050A° (линия h, фиолетовая линия ртути), то есть уже в ультрафиолетовом свете, невидимом невооруженным глазом.

Сочетание диафрагмы f/1,6 со специальной, «ограниченной дифракцией» оптической формулой, практически идеальной, и эти рабочие длины волн влекли за собой максимальное теоретическое разрешение, соответственно, около 1,300, около 1,430 и около 1,540 линий/мм, захватывающие дух значения и почти невероятные.

Рассматриваемый объектив был оптимизирован для масштаба воспроизведения 1:10, поэтому он фокусировал маску с окончательной моделью микрочипа, в 10 раз больше фактического размера и произведенной с разрешающей способностью 150 л/мм, проецируя ее форму на кремниевую пластину с 10-кратным уменьшением и разрешающей способностью, необходимой для сохранения всех деталей схемы, до 1500 л/мм.

Если впечатляющей разрешающей способности 1500 линий/мм было недостаточно, этот конкретный экземпляр еще и привлекателен своей особой гравировкой: во-первых, вместо классической надписи Carl Zeiss S-Planar мы видим название Oberkochen Opton Pl-S, типичное для объективов, предназначенных для экспорта или продажи в некоторых странах Варшавского договора, в которых решением судов Carl Zeiss Jena было предоставлено право использования соответствующих торговых марок; Кроме того, серийный номер нетипичен (объективы S-Planar 25 мм f/1,6 выпускались в диапазоне 5.767.646 - 6.371.184; была выделена еще одна огромная партия из 1.750 номеров, но она не была продолжена) и относится к классическим прототипическим серийным номерам Zeiss: на самом деле были собраны два предсерийных экземпляра для выставок с обычным названием Carl Zeiss S-Planar и серийными номерами 2.589.535 - 2.589.536, а также два аналогичных экземпляра для экспозиций за железным занавесом, характеризующихся надписью Oberkochen Opton S-Pl и серийными номерами 2.592.427 и 2.593.428; представленный экземпляр является одним из последних.

Использовать его обычным образом также невозможно из-за его короткого рабочего отрезка, однако, перевернув устройство, вы получите 10-кратный супер-макрообъектив с ужасающим разрешением; конечно, чрезвычайно малая глубина резкости, обеспечиваемая фиксированной диафрагмой f/1,6, сделает практически обязательным обращение к технике многокадрового стекинга, используя таблицу бокового сдвига чрезвычайной точности, чтобы оценить очень маленькие изменения фокуса, порядка микрон...

Что касается производства, то фактически будет собрано 175 экземпляров для 4800A°, 250 штук для 4360A° и 217 других объективов для 4050A° (плюс четыре прототипа). Спустя годы была выпущена огромная партия серийных номеров (1750 номеров) для промежуточной модели 4360A°, но нет никаких доказательств того, что эти объективы были действительно произведены, как это иногда случается с нумерацией Zeiss Oberkochen.

• Перевод с сайта

Начать обсуждение этого объектива на форуме